曾經被廣泛使用的清洗行業的優秀清洗劑CFC-113（氟里昂）以及1.1.1-三（乙烷）已經被禁止生產、進口、使用。仍在使用的有氯系清洗劑（三、三氯乙烯、二氯甲烷等）、水系清洗劑及碳氫系清洗劑等替代品，面對于大多數用戶而言，由于含氯系清洗劑可以通過對原有設備略加改造即可使用的優點，可以推測這些用戶曾有一段時間均改為使用含氯清洗劑。
然而含氯清洗劑由于有毒，環境控制很嚴，且由于ISO14000系列對含氯清洗劑有限制要求，企業為了取得ISO14000證書，都開始改用碳氫系的清洗劑和水系清洗劑。而水系清洗劑的設備投資成本高、不易干燥，清洗后的產品常會生銹跡、斑點，還需考慮排水問題，及在中國水資源缺乏等問題，各廠家已逐步開始研究其替代品。
另一方面，使用非水系清洗劑時需要分開考慮可燃性和不可燃性的問題。碳氫系有可燃性，而且與含氯系清洗劑相比具有不易干燥的弱點。但這些方面已逐步在清洗設備上得到補償，從而預測碳氫系清洗劑將逐步成為當今替代清洗劑的主流。因此本文以碳氫清洗劑及設備為中心進行介紹。
含氯及氟系列清洗劑與碳氫系相比沸點較低，與其說是通過減壓蒸餾使溶劑再生，不如說引入可進行蒸汽清洗的清洗設備一邊再生一邊清洗。此時重要的是要管理清洗槽內清洗液中究竟混入了多少加工油。選擇清洗劑時除了清洗劑的價格外，還需研究蒸餾再生時的回收率，純度等，綜合考慮總的費用再決定。
真空蒸餾回收裝置制作簡介：
1．槽體
由厚度為5mm的SUS304L不銹鋼板焊接而成，槽體有效尺寸（L×W×H）為Ф500×1200mm。設有可視窗等觀察結構，方便可控操作真空槽底設有廢油廢渣排放管，外接冷卻箱和廢油收集箱
加熱：采用導熱油間接加熱方式。槽體下部外附一個加熱油包，外置一個導熱油加熱箱，加熱功率為12kW。先由發熱管對導熱油進行加溫，再通過泵浦將加熱油輸送到加熱油包，經過熱交換后再輸送回加熱箱加熱，如此循環。加熱油包有立的溫控系統，油溫R.T.～140℃可調

減少殘油量的方法：
1、減少附著的清洗劑量。
2、減少附著清洗劑中的加工油量。
附著清洗劑量的方法主要由產品的形狀、表面粗糙程度、清洗劑性質（表面張力、膜厚等）決定，因此通過在清洗設備上采取相應措施如除液法（旋轉除夜等）、除液時間（長時間）、溫度（高溫下降低粘度）等。
降低附著清洗劑中加工油的量的方法有設置潤濕槽、增加潤濕槽數量清洗設備方面的相應措施以及終清洗采用新清洗液，設備蒸餾再生機使潤濕槽內加工油濃度控制在一定量以下等。液體管理措施。

應根據清洗槽、混入加工油的量、加工油的種類、清洗性能等的要求選擇適當的蒸餾再生機。
一般作為廢液排出的是混入的加工油量+α量，因此要選擇適宜于可處理混有大量加工油清洗液的再生機。
還要注意，若無法保證清洗效果。一般選擇每日可處理1次清洗槽內液體的蒸餾機。例如清洗槽+潤濕槽內液體的總量為360L，工作時間為8h/日，則30L/h的蒸餾機清洗槽內液體理論上的清洗頻度可達0.7次/日。若此時蒸餾機的回收率為95%，則30L/h×0.05×8h=12L/日即每日排出的廢液量為12L，若每月工作25日，則需補充300L的清洗液?；厥章蕿?8%時，30L/h×0.02×8h=4.8L/日同樣每月工作25日，需補充清洗液12L?；厥章?%則損失的量差2.5倍，故需認真研究廢液量（或補充液量）的差額。

介紹前面提到的蒸餾再生。清洗劑可由于被清洗物上附著的污物（加工油、潤滑脂、防銹油、蠟、液晶等）的混入，主要成分的分解、添加劑的消耗等原因被污染從而變質，隨污染變質的進行清洗劑將逐漸不能再使用。蒸餾再生裝置利用液體的沸點隨壓力降低而降低的性質進行減壓蒸餾，只回收清洗液中的清洗劑而將加工油等作為廢液處理的方法。
濾器除去溶劑中的金屬粉等雜質，用預熱器加熱溶劑使之汽化，通過分離槽除去不純物。再生后的溶劑經凝氣液化，暫時停留在溶劑回收槽后返回清洗槽。
一般的運行條件為壓力50～100Torr 溫度90～120℃，要得到純度較好的回收品提高回收率可根據清洗液和加工油的性狀改變上述條件。一般提高了回收品的純度其回收率便降低，要得到高回收率其純度低。
控制盤采用“內壓防爆結構”。這是由于內部有點火源通過空氣凈化使用控制盤內部壓力增高，外部可燃氣體不易侵入。
同樣，對于超聲波振子由于內部使用高電壓亦成為點火源采用“內壓防爆結構”。
加熱可燃性體使用電加熱器作加熱源，當液面降低時加熱器表面暴露于空氣中表面成為高溫，此時該處若有可燃性液體會產生可燃性蒸汽，從而引起燃燒。因此使用強力加熱源時應采用蒸汽間接加熱方式。 另外，清洗機要確保接地，被清洗物可清洗劑在絕緣狀態下不要高速摩擦，防止靜電產生，應考慮如何防止帶電等。實際的清洗設備是將這些手段并用使火災、爆炸降至低限度。
5、隔離氧
要隔離燃燒必須的氧是其困難的。這是因為在作業環境中只要有人在則必須有用于呼吸的氧，隔離燃燒所需要的氧便隔離了呼吸必須的氧。因此曾考慮將清洗槽做或密閉結構封入隨性氣體，但在取放被清洗物時必然要混入空氣，因此并不現實。在氧存在下的敝開體系中使用蒸汽清洗及噴霧清洗方式在安全方面雖有問題，通過減壓操作防止燃燒三要素得已滿足也是可行的。
在此替代例中減壓超聲波侵潤、減壓蒸汽清洗、真空干燥等步驟在一槽內完成，是減壓條件下的完全密閉體系。以前使用的是三蒸汽清洗，使用了碳氫系清洗劑（第2類石油）的此體系后清洗劑消耗量降低了1/3耗資也可能大幅度降低。清洗劑經內存的減壓蒸餾再生機可以重復使用。
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